苏州保洁公司对微电子企业的保洁方案

一、微电子企业日常保洁特别性
电子企业、微电子企业是当时对洁净等级要求最高的企业，依照洁净程度不同，可分为 一般区域和受控洁净区、洁净室、气闸室等。对一般区域的保洁，依照通常的写字楼的要求 进行即可，而关于受控洁净区、洁净室、气闸室等洁净等级较高的区域就有必要有相应的专业 知识和相应的工艺技术才干做好保洁服务。下面，就受控洁净区、洁净室的日常保洁做一些 论述。
二、微电子企业洁净室规划理念
(―)洁净室的根本概念
洁净技术是经过工程技术方面的各种设备和严格办理，使室内微粒子含量、气流、压力 等操控在必定范围内，这种房间空间称为洁净室。
(二)空气中的微粒子
空气中的微粒子有生物粒子和颗粒物，它们使微电子出产进程、制药进程中产生静电， 并且污染产品，形成产品的缺陷；在医院手术室中的污染会导致手术失败，危及生命。因而 空气中的微粒子是洁净操控区首要的铲除对象。电子企业的防静电、防尘要求等级越高，空 气中答应的微粒子含量就越低。下面我们就来认识一下空气中的微粒子。
1.生物粒子
(1)细菌、藻类：藻类与其他微生物的不同之处在于，它能进行光合效果。藻类在污 染操控和洁净室范畴一般不是问题。
(2)真菌类：在污染操控和洁净室范畴，真菌是第二大微生物污染源，并会成为一种 严峻威胁。真菌与大多数细菌比较，对养分的要求更简略，并能够在没有很多水的条件下 成长。
(3)病毒：病毒在微生物中处在很独特的方位。由于依照一般所接受的概念，不能将 其分类为活的有机生物。它们的结构相当简略，常常是由一层蛋白质内的单个DNA和RNA 分子组成，比微生物小得多。
(4)原生物：由于原生物差不多总是与天然构成的水环境相关联，所以它们在污染控 制和洁净室范畴无关宏旨。
2.颗粒物
颗粒物(particulate matter)又称尘，是大气中的固体或液体颗粒状物质。颗粒物可分 为一次颗粒物和二次颗粒物。一次颗粒物是由天然污染源和人为污染源开释到大气中直接造 成污染的颗粒物，例如土壤粒子、海盐粒子、燃烧烟尘等。二次颗粒物是由大气中某些污染 气体组分(如二氧化硫、氮氧化物、碳氢化合物等)之间，或这些组分与大气中的正常组 分(如氧气)之间经过光化学氧化反响、催化氧化反响或其他化学反响转化生成的颗粒物， 例如二氧化硫转化生成硫酸盐。
电子产品洁净厂房对空气洁净度和各类杂质的操控有严格的要求。半导体集成电路制造 是一种高科技制造技术，为了取得微电子产品的高质量和高成品率，有必要严格操控芯片缺 陷。而导致芯片缺陷的因素非常复杂，其污染源或许来自空气中的粒子或加工进程中运用的 各类工艺介质中的杂质、清洗用纯水中的杂质以及东西等带来的杂质污染等。出产环境操控 就是对与产品出产进程相关的各类污染物进行操控。其间，对出产环境中微粒的操控是非常 重要的内容。当时45nm的极大规划集成电路已投入出产，要求洁净室的空气洁净度操控在 IS01级或IS02级，微粒粒径操控在0. 03|xmo随着集成度的不断提高、加工尺度日益微细 化，集成电路出产进程不只对空气洁净度等级提出越来越高的要求，也对整个产品出产进程 中微粒的黏附、化学污染物、芯片的损伤等问题提出越来越高的要求。近年来的实践标明， 带入洁净室或洁净室产生的污染以及空气中的NO,、SO.、Na，、等，超细玻璃纤维制品 中的硼和DOP粒子，操作人员自身产生的NH；、Na，等，洁净室建造资料发出的各种有机 物、金属离子等，出产进程运用溶剂、洗刷液发出的各种化学污染物等对出产进程都有很大 的影响。
(三)洁净技术的运用
洁净技术协助人类实现了很多梦想，运用范畴越来越广，正发挥着越来越大的效果。
1.微电子工业
微电子工业是当时对洁净室要求最高工业洁净业。此外，如现代工业中的液晶、光纤等 的出产，相同均有洁净度的要求。
2.医药工业、宇航工业、精密机械工业、仪器仪表工业、精细化学工业等，也要运用 到洁净技术。
3.其他机构，如医院、医学试验室等也需运用洁净技术。
三、洁净室综合要求与准则
洁净技术已在全国范围内施行。微电子企业的出产环境提出了与工艺进程相对应的不同 洁净等级要求，限制了空气中尘土粒子的巨细和含量；室内微粒子含量、气流、压力等也需 操控在必定范围内，即要求在洁净室中进行出产。
洁净室是一项综合性技术，作为一个合理的规划，不只要考虑净化空调设备和设备，而 且在规划洁净室时，关于工程选址、工艺安置、典型的洁净室人身净化处理的流程，也有必要 满意以下根本要求。
洁净室建筑要求
1.环境条件
(1)具有合理的人、资料、机械的流动路线。
(2)工艺区域和修理区域区分明确。
(3)有防止外部环境对室内污染的手法。
2.灵活性
(1)适应工艺的开展与扩展。
(2)工艺区域与修理区域有调整的或许。
(3)建筑距离的改变与洁净空间有调整的或许性。
3.安全性
(1)安全通路的规划合理。
(2)有毒药物的寄存安全。
4.作业条件
(1)防止振荡的规划要求合理。
(2)防止噪声的规划要求合理。
(二)洁净室设备的要求
1-环境要求
(1)保证满意空气洁净度的技术施行要求。
(2)满意温湿度操控与洁净度操控手法的一致性的要求。
(3)能坚持室内正压要求，合理确认送、排风量。
(4)产生有害气体时能排放与处理。
(5)能防止产生振荡与噪声。
2.灵活性：满意工艺开展的要求。
3.安全性
(1)产生废品、废气的处理设备齐备。
(2)排烟设备、消防设备的设置与报警体系完善。
4.运行条件
(1)有无备用设备。
(2)瞬间停电可防止产生不良后果。
(3)保护修理便利。
(三)洁净室规划综合准则
1.洁净工程选址
(1)周围环境较清洁，美化较好。
(2)远离铁路、公路、机场(尤其是有防震要求的洁净室更要远离这些场所)。
(3)若受条件限制，有必要位于工业污染或灰尘较严峻的地区，应处于全年最多风向的 上风侧。
(4)各区路面尽量选用坚固、起尘少的资料。
2.工艺安置
(1)在不影响出产情况下，应尽量将洁净度要求相同的洁净室安排在一起。
(2)室内只安置必要的工艺设备，简单产生灰尘和有害气体的工艺设备尽量安置在洁 净室外部。
(3)工艺用的易燃、易爆等气体容器不要设在洁净室内。
(4)在同一洁净室内，尽量将洁净度要求高的作业安置在洁净气流首先到达的区域。
(5)产生污染的工序，安置在接近回、排风口的方位。
(6)洁净室的设备及家具采用润滑、不简单起尘的资料。
四、洁净室日常办理和保护准则
1-洁净室有人员进入，洁净度就会随之而改变。人的外层皮肤不断地向四周环境开释 粒子，之所以产生这一情况，是由于外皮细胞连续不断地被新细胞替换。服装与首饰等的摩 擦，会添加外皮开释的粒子数量。由于人员作业时会有更多的活动，所以开释的粒子数量也 就随着添加。
2.人污染产生器，由于不或许把人彻底密封在微过滤器中，也不或许给人塑造一个完 整的空气动力学的形状，所以人总是对周围的环境产生影响。在污染操控范畴，化妆品常常 会形成问题。所以，洁净室一般不答应人员运用化妆品。
1-受控洁净区及洁净室都是制止吸烟的。即便中止吸烟后，粒子仍会存留在气管和肺 中，并不停地从人体内向周围空气中发出。这就意味着吸烟的人是一个强大的粒子产生器。
4.服务与修理人员的活动也会下降洁净室的洁净度，战胜这个问题有两种办法：一是 将一切需求修理的物件悉数放置到洁净室外的服务区；二是假如设备无法移出洁净室，就在 洁净室内进行修理，但要求修理作业坚持在最低程度。对进入洁净室的服务人员，特别是那 些从洁净区之外进入洁净室的人员，都应按正确的过程进行训练，以将污染或许降至最低。 气流办法以及工艺产生又分散开来的污染物，会影响工艺出产的结果。
1-为保证人员、出产工艺与洁净室之间的有效互动，既需求训练有素的人员，又需求 洁净室的物流记载，还需求宽敞的存储区、广大的摆放方位，及有序的洁净设备寄存区、宽 敞的气闸和更衣室。
五、洁净室和洁净区作业指南
（一） 一般要求
1.注重手、指甲、脸部的清洁卫生。人员卫生极其重要。
2.精心选择规划精巧的洁净服装体系，并以正确的办法穿戴，以保证其整体的防护 性能。
3-进入洁净室前有必要清洗眼镜并加以消毒，眼镜的例行清洗很简单被忘记。
2.应尽量坚持部件与东西洁净。
3.作业只能在洁净的外表上进行。
2-制止吸烟或运用鼻烟。与不吸烟者比较，吸烟者或运用鼻烟者会向空中多开释出几 百万个粒子。
1.洁净室内不得梳头，乃至不能碰头发。
2.室内一般不答应运用化妆品。一切化妆品都有粒子附着在皮肤上。假如说话、咳嗽、 打喷嚏、触摸一件物品，这些粒子就会从皮肤上坠落下来而成为污染物。
9-制止运用指甲油。由于指甲油比指甲硬，时间长了就会呈现裂痕，尘土与微生物就 有或许藏身其间，并到处传达。
10-室内制止佩带首饰及手表。由于它们难以清洗，并或许形成污染。
11-洁净室内制止吃喝，制止咀嚼口香糖或糖块。
12.不能把洁净服提来提去，人员不能触摸或翻动洁净服。
3.要防止一切不必要的活动。添加身体的活动会添加体表发出的粒子。人员不必要的 活动会使周围空气构成涡流。
（二） 人员卫生要求
1.每个人员应对自己个人的清洁卫生担任。
2-人员是洁净出产区首要的污染源之一。从人体脱落的表皮细胞是“死”粒子，可是 常常会沾有细菌及其他微生物，因而人员要防止触摸设备和产品。
3-除定时进行盆浴或淋浴外，还应定时洗头。
4-手是一大污染源，手是将污染物从一个地方传达到另一个地方的罪魁祸首之一。
5-口腔也是一个首要的污染源，因而好的口腔卫生至关重要。

（三） 与人相关的污染危险因素
1-人员的选择。

2.人员的教育与训练。

3-洁净室的安全要求。

4-人员的行为和人员卫生。

5-人员健康情况。

4.进入洁净室最低数量人员。

3-最大占用程度（最大答应人员数量）。

4-进出规则。

5-人流进出洁净室的通道。

(四)洁净室作业一般规则

每个洁净室有必要有各自文件形式的规则及作业过程。下面提到的一般性规则，适用于所 有的洁净室，而不专门考虑在某一特定洁净室内进行的特定作业过程的详细特色。

1.洁净室内只能有必要人员。室内人员越多，污染水平越高。

2.只答应经过训练的人员在洁净室作业，只要具有特定作业所需技术的人员，才答应 进入洁净室。

3.不答应作业人员将任何或许产生污染的东西带入洁净室。只要洁净室内作业一切必要 的物品，才答应带入并且要采取防污染办法。

洁净室内不答应有下述物品：

(1)食物、饮料、糖块、口香糖。

(2)瓶瓶罐罐(非用品)。

(3)卷烟、烟斗、鼻烟。

(4)收音机、唱片机、袖珍录音机。

(5)用木材、橡胶、纸、皮革、棉花及其他天然资料制成的物品。

(6)非洁净室专用纸，包括报纸、杂志、书本、纸巾。

(7)铅笔、橡皮及可开释粒子的书写用品，比方纤维笔。

4.须随手关门。开门会使室内压力下降，这会形成洁净室气流的不良运动。

5.开关门的动作都要慢。快速关门会添加从洁净程度较低区域流入洁净室的空气量。 为操控开关门的速度，能够在门上装置闭门器或绷簧。

6.经过气闸的两扇门时，只要在榜首道门彻底封闭后，再翻开第二道门。所谓的联锁 设备就是使两道门不能一起翻开。

7.不经过更衣室就无法进入洁净室。更衣室不只仅用于更衣，它是洁净程度较低的外 部区域与洁净程度较高的内部出产区域之间的缓冲区。不得运用像紧急出口一类的、能够从 出产区直接到达外部洁净度较低区域的出口，这种出口或许会形成污染物从外部空气到洁净 室内部空气间的敏捷搬运。

8.洁净室应永远坚持清洁规整。不规整的洁净室绝不会洁净。

9.相对出产工艺而言，人员应处在正确的方位。比方，斜靠在产品上是欠好的习惯， 由于这会使洁净服上的“死”粒子和微生物粒子坠落在产品上及产品的周围。在单向流中 作业的人员，不能直接坐在单向流中，由于这会使气流将服装内松散粒子吹落到空气中。对 洁净室中采用的作业办法，事前仔细作好方案，才干使污染的危险降至最小。

10.应仔细考虑产品的移动办法，遥控操作办法较可取，由于它不需求搬运产品。洁净 室作业常常运用手套，但手套也或许成为污染源。

11-在洁净室内移动物品时，不得使该物品与服装或其他物品触摸。

12.在接近产品的方位作业时，应防止说话。即便运用面罩，从鼻和嘴发出出的粒子仍 有穿过或绕过面具而触摸产品的危险。假如打喷嚏或咳嗽无法防止，就应当避开产品。打完 喷嚏或咳嗽完之后，应更新面罩。面罩应能把嘴鼻都罩住。

13.防止触摸洁净室的外表。即便洁净室本身是洁净的，洁净室内的外表和设备外表仍 或许是受到污染的。戴着手套的手要脱离洁净服，以下降污染手套的危险。

14.应定时清洗洁净室手套，以减少触摸和传达污染物的危险。手套清洗能够运用经过

过滤的70%浓度的乙醇或异丙醇。这两种酒精都能够运用，由于它们挥发后均无残留物。

15.洁净室运用的抹布只能用一次或只能按事前定好的次数运用，并应在用完今后抛 弃。用抹布进行清洁时，应运用摇摆起伏大而直的动作，动作与动作之间没有堆叠。

16.在洁净室作业，应运用平稳、仔细考虑好的动作。快速杂乱的动作会使室内悬浮粒 子浓度大大添加。

17.留在洁净室内的产品应放在密封柜中或放在瓶内，以使物品或产品与污染物触摸的 危险降至最小。最好的办法是将其保存在层流作业台或安全作业台中。

18.抛弃的物品应放入专门规划的容器内，然后定时移出室外。

19.应运用合适的办法，对洁净室进行洁净，有的情况下还要对洁净室进行消毒。

20.进入洁净室的人有必要知道他的责任，并受过各种洁净室专业技术的专门训练，懂得 洁净室内一切体系的功能。

21.产生重大事故时，比方洁净室表里产生火灾、爆破、断电等，一切人员应快速有序 地举动。呈现紧急情况，比方打破了有毒的或无毒的资料，有个别职工不适，或其他类似情 况等，职工都应知道应怎么采取举动，并坚持镇定。

22.进入洁净室的人员，有必要对其穿戴的洁净服有满足的认知。

23.一切在洁净室作业的人员，不论其作业内容怎么，有必要穿戴适当的洁净室服装。

24.用于无菌出产的洁净室灭菌作业服，未经洗刷和再灭菌不得再次运用。

25.在灭菌区作业的人员，有必要彻底了解并遵守各种灭菌、消毒过程。

26.在洁净室作业的人员，不得返回气闸室。

27.在气闸室中，应放有塑料袋，可将洁净服放入袋中以便隔离和运输。这样，就能够 将用过的洁净服输送到洗刷区，而没有污染产品或人员的危险。

28.从整个体系的舒适性和有效性出发，决定一次可进入气闸室人员的数量。

29.钱包、手袋等个人物品不得带入洁净室或气闸室。

30.身体不适的人员，特别是腹部、鼻、嗓子不适者，不应进入洁净区。

31-一切与洁净室外人员的言语交流，悉数都要经过内线电话或内部通讯体系进行。决 不能把气闸室和通道当成洁净室与出产区外交流的通道。

32.洁净室内制止运用化妆品，制止佩带戒指、首饰和表。

33.将量杯、烧瓶及其他用品带入洁净室前，有必要依照既定过程进行清洁与灭菌。

34-洁净室内只能运用长纤维制作的抹布，现在运用最广泛的是组成资料抹布。传统的 家用拖布、刷子及其他物品，决不能用于洁净室，洁净室要用一次性无尘布、无尘纸、一次 性帽子及口罩。

六、洁净区卫生操作流程及操作注意事项

进入洁净区时有必要严格依照更衣程序进行更衣、换鞋（不同区域的鞋子按规则摆放在 相应的方位上）一洗手—消毒—穿洁净上衣和裤子、鞋套（先上后下），戴口罩（穿戴结束 后，在镜子面前收拾着装，保证头发、胡须和里边的衣服不显露）—进入缓冲间，手部消 毒一洁净区。

进出洁净区时，应随手关门，不能一起翻开连通缓冲间和洁净等级不同的通道，以免影 响洁净区内洁净空气的流转办法。在洁净室作业时防止大声喧哗，制止打闹嬉戏；操作应轻 拿轻放，称量物料须第二人复核，物料称量配置后及时清理作业台面，随时坚持作业区域的 卫生清洁与整洁。

要加强对出产设备的维护作业，适时对设备滚动部件进行润滑，进行电路检査和易磨损 部件查看替换等，制止对设备乱敲乱打或故意损坏设备。出产用的工器具和清洁用具应分类 运用，定点寄存。清洁用具、抹布不能交叉混用，运用后清洁洁净一致寄存在洁具间。工器 具应会集在规则方位摆放，运用后清洁洁净及时放回本来方位上，时间坚持出产区域的整洁 有序。出产运用的各类记载应在岗位显着方位放置并分类，便于作业人员及时记载并进行复 核，出产结束后，记载由岗位专人收拾，担任人审阅后交由相关部分人员存档。

七、某电子企业保洁服务实例

某公司为某微电子企业做保洁服务，服务实际操作的部分内容如下：

该公司把洁净等级较高的区域称作特别区域，特别区域有：黄光区、灰区、一般洁净 区。特别区域需求做的保洁服务作业内容与日常保洁的内容根本相同，可是专业仪器不让保 洁员管和动。
其间，黄光区对人的眼睛有刺激效果，所以在作业时间上有特别的待遇。进入黄光区持 续时间约lh后，要歇息0.5h,并佩带专业眼镜。
对保洁员没有特别的要求，可是有必要依照甲方编制的办理文件训练合格后，方能上岗进 入洁净区作业。
操控洁净区卫生规范要求极高，有必要经过空气测量仪评定达标情况。为了保证洁净区达 到洁净规范，保洁操作流程、操作工艺、保洁职工操作动作的特别规则由甲乙双方共同制 定，适应洁净区的要求并能详细施行。
比方：洁净室的地面要求职工用无尘布蹲着一块一块地擦，并且职工有必要是往后退着 擦，地面资料为环氧树脂；洁净室每天进行消毒，并规则了消毒的频次和时间；设备管道都 有必要定时保洁，不能有死角。
洁净区和一般区域不同，按洁净区的防静电、防尘专业要求，洁净室有专用吸尘器、专 用服装，不得用一般抹布，要用专用的一次性无尘布、无尘纸进行保洁操作，职工戴一次性 的专用帽子及口罩。
职工操作流程记载、查看记载、交接班记载指定专人办理，寄存在指定地址。