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苏州保洁公司对微电子企业的保洁方案

苏州保洁公司对微电子企业的保洁方案

发布日期:2021-05-21 作者: 点击:

一、微电子企业日常保洁特别性

电子企业、微电子企业是当时对洁净等级要求最高的企业,依照洁净程度不同,可分为 一般区域和受控洁净区、洁净室、气闸室等。对一般区域的保洁,依照通常的写字楼的要求 进行即可,而关于受控洁净区、洁净室、气闸室等洁净等级较高的区域就有必要有相应的专业 知识和相应的工艺技术才干做好保洁服务。下面,就受控洁净区、洁净室的日常保洁做一些 论述。

二、微电子企业洁净室规划理念

(―)洁净室的根本概念

洁净技术是经过工程技术方面的各种设备和严格办理,使室内微粒子含量、气流、压力 等操控在必定范围内,这种房间空间称为洁净室。

(二)空气中的微粒子

空气中的微粒子有生物粒子和颗粒物,它们使微电子出产进程、制药进程中产生静电, 并且污染产品,形成产品的缺陷;在医院手术室中的污染会导致手术失败,危及生命。因而 空气中的微粒子是洁净操控区首要的铲除对象。电子企业的防静电、防尘要求等级越高,空 气中答应的微粒子含量就越低。下面我们就来认识一下空气中的微粒子。

1.生物粒子

(1)细菌、藻类:藻类与其他微生物的不同之处在于,它能进行光合效果。藻类在污 染操控和洁净室范畴一般不是问题。

(2)真菌类:在污染操控和洁净室范畴,真菌是第二大微生物污染源,并会成为一种 严峻威胁。真菌与大多数细菌比较,对养分的要求更简略,并能够在没有很多水的条件下 成长。

(3)病毒:病毒在微生物中处在很独特的方位。由于依照一般所接受的概念,不能将 其分类为活的有机生物。它们的结构相当简略,常常是由一层蛋白质内的单个DNA和RNA 分子组成,比微生物小得多。

(4)原生物:由于原生物差不多总是与天然构成的水环境相关联,所以它们在污染控 制和洁净室范畴无关宏旨。

2.颗粒物

颗粒物(particulate matter)又称尘,是大气中的固体或液体颗粒状物质。颗粒物可分 为一次颗粒物和二次颗粒物。一次颗粒物是由天然污染源和人为污染源开释到大气中直接造 成污染的颗粒物,例如土壤粒子、海盐粒子、燃烧烟尘等。二次颗粒物是由大气中某些污染 气体组分(如二氧化硫、氮氧化物、碳氢化合物等)之间,或这些组分与大气中的正常组 分(如氧气)之间经过光化学氧化反响、催化氧化反响或其他化学反响转化生成的颗粒物, 例如二氧化硫转化生成硫酸盐。

电子产品洁净厂房对空气洁净度和各类杂质的操控有严格的要求。半导体集成电路制造 是一种高科技制造技术,为了取得微电子产品的高质量和高成品率,有必要严格操控芯片缺 陷。而导致芯片缺陷的因素非常复杂,其污染源或许来自空气中的粒子或加工进程中运用的 各类工艺介质中的杂质、清洗用纯水中的杂质以及东西等带来的杂质污染等。出产环境操控 就是对与产品出产进程相关的各类污染物进行操控。其间,对出产环境中微粒的操控是非常 重要的内容。当时45nm的极大规划集成电路已投入出产,要求洁净室的空气洁净度操控在 IS01级或IS02级,微粒粒径操控在0. 03|xmo随着集成度的不断提高、加工尺度日益微细 化,集成电路出产进程不只对空气洁净度等级提出越来越高的要求,也对整个产品出产进程 中微粒的黏附、化学污染物、芯片的损伤等问题提出越来越高的要求。近年来的实践标明, 带入洁净室或洁净室产生的污染以及空气中的NO,、SO.、Na,、等,超细玻璃纤维制品 中的硼和DOP粒子,操作人员自身产生的NH;、Na,等,洁净室建造资料发出的各种有机 物、金属离子等,出产进程运用溶剂、洗刷液发出的各种化学污染物等对出产进程都有很大 的影响。

(三)洁净技术的运用

洁净技术协助人类实现了很多梦想,运用范畴越来越广,正发挥着越来越大的效果。

1.微电子工业

微电子工业是当时对洁净室要求最高工业洁净业。此外,如现代工业中的液晶、光纤等 的出产,相同均有洁净度的要求。

2.医药工业、宇航工业、精密机械工业、仪器仪表工业、精细化学工业等,也要运用 到洁净技术。

3.其他机构,如医院、医学试验室等也需运用洁净技术。

三、洁净室综合要求与准则

洁净技术已在全国范围内施行。微电子企业的出产环境提出了与工艺进程相对应的不同 洁净等级要求,限制了空气中尘土粒子的巨细和含量;室内微粒子含量、气流、压力等也需 操控在必定范围内,即要求在洁净室中进行出产。

洁净室是一项综合性技术,作为一个合理的规划,不只要考虑净化空调设备和设备,而 且在规划洁净室时,关于工程选址、工艺安置、典型的洁净室人身净化处理的流程,也有必要 满意以下根本要求。

(-)洁净室建筑要求

1.环境条件

(1)具有合理的人、资料、机械的流动路线。

(2)工艺区域和修理区域区分明确。

(3)有防止外部环境对室内污染的手法。

2.灵活性

(1)适应工艺的开展与扩展。

(2)工艺区域与修理区域有调整的或许。

(3)建筑距离的改变与洁净空间有调整的或许性。

3.安全性

(1)安全通路的规划合理。

(2)有毒药物的寄存安全。

4.作业条件

(1)防止振荡的规划要求合理。

(2)防止噪声的规划要求合理。

(二)洁净室设备的要求

1-环境要求

(1)保证满意空气洁净度的技术施行要求。

(2)满意温湿度操控与洁净度操控手法的一致性的要求。

(3)能坚持室内正压要求,合理确认送、排风量。

(4)产生有害气体时能排放与处理。

(5)能防止产生振荡与噪声。

2.灵活性:满意工艺开展的要求。

3.安全性

(1)产生废品、废气的处理设备齐备。

(2)排烟设备、消防设备的设置与报警体系完善。

4.运行条件

(1)有无备用设备。

(2)瞬间停电可防止产生不良后果。

(3)保护修理便利。

(三)洁净室规划综合准则

1.洁净工程选址

(1)周围环境较清洁,美化较好。

(2)远离铁路、公路、机场(尤其是有防震要求的洁净室更要远离这些场所)。

(3)若受条件限制,有必要位于工业污染或灰尘较严峻的地区,应处于全年最多风向的 上风侧。

(4)各区路面尽量选用坚固、起尘少的资料。

2.工艺安置

(1)在不影响出产情况下,应尽量将洁净度要求相同的洁净室安排在一起。

(2)室内只安置必要的工艺设备,简单产生灰尘和有害气体的工艺设备尽量安置在洁 净室外部。

(3)工艺用的易燃、易爆等气体容器不要设在洁净室内。

(4)在同一洁净室内,尽量将洁净度要求高的作业安置在洁净气流首先到达的区域。

(5)产生污染的工序,安置在接近回、排风口的方位。

(6)洁净室的设备及家具采用润滑、不简单起尘的资料。

四、洁净室日常办理和保护准则

1-洁净室有人员进入,洁净度就会随之而改变。人的外层皮肤不断地向四周环境开释 粒子,之所以产生这一情况,是由于外皮细胞连续不断地被新细胞替换。服装与首饰等的摩 擦,会添加外皮开释的粒子数量。由于人员作业时会有更多的活动,所以开释的粒子数量也 就随着添加。

2.人污染产生器,由于不或许把人彻底密封在微过滤器中,也不或许给人塑造一个完 整的空气动力学的形状,所以人总是对周围的环境产生影响。在污染操控范畴,化妆品常常 会形成问题。所以,洁净室一般不答应人员运用化妆品。

1-受控洁净区及洁净室都是制止吸烟的。即便中止吸烟后,粒子仍会存留在气管和肺 中,并不停地从人体内向周围空气中发出。这就意味着吸烟的人是一个强大的粒子产生器。

4.服务与修理人员的活动也会下降洁净室的洁净度,战胜这个问题有两种办法:一是 将一切需求修理的物件悉数放置到洁净室外的服务区;二是假如设备无法移出洁净室,就在 洁净室内进行修理,但要求修理作业坚持在最低程度。对进入洁净室的服务人员,特别是那 些从洁净区之外进入洁净室的人员,都应按正确的过程进行训练,以将污染或许降至最低。 气流办法以及工艺产生又分散开来的污染物,会影响工艺出产的结果。

1-为保证人员、出产工艺与洁净室之间的有效互动,既需求训练有素的人员,又需求 洁净室的物流记载,还需求宽敞的存储区、广大的摆放方位,及有序的洁净设备寄存区、宽 敞的气闸和更衣室。

五、洁净室和洁净区作业指南

(一) 一般要求

1.注重手、指甲、脸部的清洁卫生。人员卫生极其重要。

2.精心选择规划精巧的洁净服装体系,并以正确的办法穿戴,以保证其整体的防护 性能。

3-进入洁净室前有必要清洗眼镜并加以消毒,眼镜的例行清洗很简单被忘记。

2.应尽量坚持部件与东西洁净。

3.作业只能在洁净的外表上进行。

2-制止吸烟或运用鼻烟。与不吸烟者比较,吸烟者或运用鼻烟者会向空中多开释出几 百万个粒子。

1.洁净室内不得梳头,乃至不能碰头发。

2.室内一般不答应运用化妆品。一切化妆品都有粒子附着在皮肤上。假如说话、咳嗽、 打喷嚏、触摸一件物品,这些粒子就会从皮肤上坠落下来而成为污染物。

9-制止运用指甲油。由于指甲油比指甲硬,时间长了就会呈现裂痕,尘土与微生物就 有或许藏身其间,并到处传达。

10-室内制止佩带首饰及手表。由于它们难以清洗,并或许形成污染。

11-洁净室内制止吃喝,制止咀嚼口香糖或糖块。

12.不能把洁净服提来提去,人员不能触摸或翻动洁净服。

13.要防止一切不必要的活动。添加身体的活动会添加体表发出的粒子。人员不必要的 活动会使周围空气构成涡流。

(二) 人员卫生要求

1.每个人员应对自己个人的清洁卫生担任。

2-人员是洁净出产区首要的污染源之一。从人体脱落的表皮细胞是“死”粒子,可是 常常会沾有细菌及其他微生物,因而人员要防止触摸设备和产品。

3-除定时进行盆浴或淋浴外,还应定时洗头。

4-手是一大污染源,手是将污染物从一个地方传达到另一个地方的罪魁祸首之一。

5-口腔也是一个首要的污染源,因而好的口腔卫生至关重要。

(三) 与人相关的污染危险因素

1-人员的选择。

2.人员的教育与训练。

3-洁净室的安全要求。

4-人员的行为和人员卫生。

5-人员健康情况。

4.进入洁净室最低数量人员。

3-最大占用程度(最大答应人员数量)。

4-进出规则。

5-人流进出洁净室的通道。

(四)洁净室作业一般规则

每个洁净室有必要有各自文件形式的规则及作业过程。下面提到的一般性规则,适用于所 有的洁净室,而不专门考虑在某一特定洁净室内进行的特定作业过程的详细特色。

1.洁净室内只能有必要人员。室内人员越多,污染水平越高。

2.只答应经过训练的人员在洁净室作业,只要具有特定作业所需技术的人员,才答应 进入洁净室。

3.不答应作业人员将任何或许产生污染的东西带入洁净室。只要洁净室内作业一切必要 的物品,才答应带入并且要采取防污染办法。

洁净室内不答应有下述物品:

(1)食物、饮料、糖块、口香糖。

(2)瓶瓶罐罐(非用品)。

(3)卷烟、烟斗、鼻烟。

(4)收音机、唱片机、袖珍录音机。

(5)用木材、橡胶、纸、皮革、棉花及其他天然资料制成的物品。

(6)非洁净室专用纸,包括报纸、杂志、书本、纸巾。

(7)铅笔、橡皮及可开释粒子的书写用品,比方纤维笔。

4.须随手关门。开门会使室内压力下降,这会形成洁净室气流的不良运动。

5.开关门的动作都要慢。快速关门会添加从洁净程度较低区域流入洁净室的空气量。 为操控开关门的速度,能够在门上装置闭门器或绷簧。

6.经过气闸的两扇门时,只要在榜首道门彻底封闭后,再翻开第二道门。所谓的联锁 设备就是使两道门不能一起翻开。

7.不经过更衣室就无法进入洁净室。更衣室不只仅用于更衣,它是洁净程度较低的外 部区域与洁净程度较高的内部出产区域之间的缓冲区。不得运用像紧急出口一类的、能够从 出产区直接到达外部洁净度较低区域的出口,这种出口或许会形成污染物从外部空气到洁净 室内部空气间的敏捷搬运。

8.洁净室应永远坚持清洁规整。不规整的洁净室绝不会洁净。

9.相对出产工艺而言,人员应处在正确的方位。比方,斜靠在产品上是欠好的习惯, 由于这会使洁净服上的“死”粒子和微生物粒子坠落在产品上及产品的周围。在单向流中 作业的人员,不能直接坐在单向流中,由于这会使气流将服装内松散粒子吹落到空气中。对 洁净室中采用的作业办法,事前仔细作好方案,才干使污染的危险降至最小。

10.应仔细考虑产品的移动办法,遥控操作办法较可取,由于它不需求搬运产品。洁净 室作业常常运用手套,但手套也或许成为污染源。

11-在洁净室内移动物品时,不得使该物品与服装或其他物品触摸。

12.在接近产品的方位作业时,应防止说话。即便运用面罩,从鼻和嘴发出出的粒子仍 有穿过或绕过面具而触摸产品的危险。假如打喷嚏或咳嗽无法防止,就应当避开产品。打完 喷嚏或咳嗽完之后,应更新面罩。面罩应能把嘴鼻都罩住。

13.防止触摸洁净室的外表。即便洁净室本身是洁净的,洁净室内的外表和设备外表仍 或许是受到污染的。戴着手套的手要脱离洁净服,以下降污染手套的危险。

14.应定时清洗洁净室手套,以减少触摸和传达污染物的危险。手套清洗能够运用经过

过滤的70%浓度的乙醇或异丙醇。这两种酒精都能够运用,由于它们挥发后均无残留物。

15.洁净室运用的抹布只能用一次或只能按事前定好的次数运用,并应在用完今后抛 弃。用抹布进行清洁时,应运用摇摆起伏大而直的动作,动作与动作之间没有堆叠。

16.在洁净室作业,应运用平稳、仔细考虑好的动作。快速杂乱的动作会使室内悬浮粒 子浓度大大添加。

17.留在洁净室内的产品应放在密封柜中或放在瓶内,以使物品或产品与污染物触摸的 危险降至最小。最好的办法是将其保存在层流作业台或安全作业台中。

18.抛弃的物品应放入专门规划的容器内,然后定时移出室外。

19.应运用合适的办法,对洁净室进行洁净,有的情况下还要对洁净室进行消毒。

20.进入洁净室的人有必要知道他的责任,并受过各种洁净室专业技术的专门训练,懂得 洁净室内一切体系的功能。

21.产生重大事故时,比方洁净室表里产生火灾、爆破、断电等,一切人员应快速有序 地举动。呈现紧急情况,比方打破了有毒的或无毒的资料,有个别职工不适,或其他类似情 况等,职工都应知道应怎么采取举动,并坚持镇定。

22.进入洁净室的人员,有必要对其穿戴的洁净服有满足的认知。

23.一切在洁净室作业的人员,不论其作业内容怎么,有必要穿戴适当的洁净室服装。

24.用于无菌出产的洁净室灭菌作业服,未经洗刷和再灭菌不得再次运用。

25.在灭菌区作业的人员,有必要彻底了解并遵守各种灭菌、消毒过程。

26.在洁净室作业的人员,不得返回气闸室。

27.在气闸室中,应放有塑料袋,可将洁净服放入袋中以便隔离和运输。这样,就能够 将用过的洁净服输送到洗刷区,而没有污染产品或人员的危险。

28.从整个体系的舒适性和有效性出发,决定一次可进入气闸室人员的数量。

29.钱包、手袋等个人物品不得带入洁净室或气闸室。

30.身体不适的人员,特别是腹部、鼻、嗓子不适者,不应进入洁净区。

31-一切与洁净室外人员的言语交流,悉数都要经过内线电话或内部通讯体系进行。决 不能把气闸室和通道当成洁净室与出产区外交流的通道。

32.洁净室内制止运用化妆品,制止佩带戒指、首饰和表。

33.将量杯、烧瓶及其他用品带入洁净室前,有必要依照既定过程进行清洁与灭菌。

34-洁净室内只能运用长纤维制作的抹布,现在运用最广泛的是组成资料抹布。传统的 家用拖布、刷子及其他物品,决不能用于洁净室,洁净室要用一次性无尘布、无尘纸、一次 性帽子及口罩。

六、洁净区卫生操作流程及操作注意事项

进入洁净区时有必要严格依照更衣程序进行更衣、换鞋(不同区域的鞋子按规则摆放在 相应的方位上)一洗手—消毒—穿洁净上衣和裤子、鞋套(先上后下),戴口罩(穿戴结束 后,在镜子面前收拾着装,保证头发、胡须和里边的衣服不显露)—进入缓冲间,手部消 毒一洁净区。

进出洁净区时,应随手关门,不能一起翻开连通缓冲间和洁净等级不同的通道,以免影 响洁净区内洁净空气的流转办法。在洁净室作业时防止大声喧哗,制止打闹嬉戏;操作应轻 拿轻放,称量物料须第二人复核,物料称量配置后及时清理作业台面,随时坚持作业区域的 卫生清洁与整洁。

要加强对出产设备的维护作业,适时对设备滚动部件进行润滑,进行电路检査和易磨损 部件查看替换等,制止对设备乱敲乱打或故意损坏设备。出产用的工器具和清洁用具应分类 运用,定点寄存。清洁用具、抹布不能交叉混用,运用后清洁洁净一致寄存在洁具间。工器 具应会集在规则方位摆放,运用后清洁洁净及时放回本来方位上,时间坚持出产区域的整洁 有序。出产运用的各类记载应在岗位显着方位放置并分类,便于作业人员及时记载并进行复 核,出产结束后,记载由岗位专人收拾,担任人审阅后交由相关部分人员存档。

七、某电子企业保洁服务实例

某公司为某微电子企业做保洁服务,服务实际操作的部分内容如下:

该公司把洁净等级较高的区域称作特别区域,特别区域有:黄光区、灰区、一般洁净 区。特别区域需求做的保洁服务作业内容与日常保洁的内容根本相同,可是专业仪器不让保 洁员管和动。

其间,黄光区对人的眼睛有刺激效果,所以在作业时间上有特别的待遇。进入黄光区持 续时间约lh后,要歇息0.5h,并佩带专业眼镜。

对保洁员没有特别的要求,可是有必要依照甲方编制的办理文件训练合格后,方能上岗进 入洁净区作业。

操控洁净区卫生规范要求极高,有必要经过空气测量仪评定达标情况。为了保证洁净区达 到洁净规范,保洁操作流程、操作工艺、保洁职工操作动作的特别规则由甲乙双方共同制 定,适应洁净区的要求并能详细施行。

比方:洁净室的地面要求职工用无尘布蹲着一块一块地擦,并且职工有必要是往后退着 擦,地面资料为环氧树脂;洁净室每天进行消毒,并规则了消毒的频次和时间;设备管道都 有必要定时保洁,不能有死角。

洁净区和一般区域不同,按洁净区的防静电、防尘专业要求,洁净室有专用吸尘器、专 用服装,不得用一般抹布,要用专用的一次性无尘布、无尘纸进行保洁操作,职工戴一次性 的专用帽子及口罩。

职工操作流程记载、查看记载、交接班记载指定专人办理,寄存在指定地址。

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关键词:苏州保洁,昆山保洁公司

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